Difuzione vakuum pumpe sastoje se od uljnog bojlera povezanog sa centralnim više-stepenim mlaznim sklopom.
Zagrejano ulje ubrizgava se iz mlaznog sklopa, supersoničnom brzinom. Ovaj tok ulja, pomoću momenta koji imaju teži molekuli ulja, hvata molekule gasa i transportuje ih kroz telo pumpe. Ovaj process transportuje molekule gasa od usisnog otvora niskog pritiska do prednjeg vakumskog porta difuzne pumpe, gde se ulje kondenzuje i vraća u bojler, a molekuli gasa se vade pomoću pomoćne pumpe.
Inovativni dizajn više-stepenog mlaznog sklopa ovih pumpi dovodi do potpune stabilnosti u radu. Ovakav dizajn posebno odgovara pri radu sa promenljivim pritiskom, do kog najčešće dolazi kada se pumpa u neku komoru, bez rizika od vraćanja ulja.
Sve difuzione vakuum pumpe poseduju snažan grejač, dugog životnog veka, što omogućava stabilne i pouzdane performanse u najrazličitijim uslovima rada.